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Cu互连阻挡层研究

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Cu互连阻挡层研究

djxgreat创建于2011-11-11 最后编辑: 2011-11-11 11:11 9,064阅读
Cu互连阻挡层研究
共 4 个文档
集成电路CU互连工艺中W基扩散阻挡层研究 70p
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  • 2010-04-15
  • 格式: PDF
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新一代集成电路Cu互连用Ta基扩散阻挡层的制备及特性研究 81p
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  • 2011-05-03
  • 格式: PDF
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