黄光微影制程 - 豆丁网
频道
下载文档
收藏
打印
转格式
转本文档 转其他文档

  • 扫一扫安装书房APP

  • 扫一扫关注微信号

  • 扫一扫安装书房APP

  • 扫一扫关注微信号

黄光微影制程

458阅读 22顶 5人收藏 6页骏捷FRV上传 举报/认领 展开

本文档由 骏捷FRV 分享于2009-03-14 11:37

影制程并了解各个步骤之原理及影响¸ 二,器材及药品:旋转涂布机,曝光¸¸¸聚焦离子束与雷射光等¸ 7¸通常一个晶片的制造过程需好几次磊晶,离子布值,蚀刻…故须好几次微影制程¸每次图案的¸¸¸
文档格式：
.doc
文档大小：
2.29M
文档页数：
6页
顶 /踩数：
22 /  0
收藏人数：
5
评论次数：
0
文档热度：
文档分类：
待分类
添加到豆单
文档标签：
黄光微影制程 晶片 制程 HMDS 皮膚 感光材料 小格 去光 眼睛 溶液
系统标签：
光阻 黄光微 晶片 光罩 hmds 曝光
下载文档
收藏
打印
转格式
转本文档 转其他文档

君，已阅读到文档的结尾了呢~~

立即下载 加入会员，超低价下载
下载文档 加入会员 超低价下载
菜单
全屏
上一页 /3下一页

扫扫二维码，随身浏览文档

手机或平板扫扫即可继续访问

推荐豆丁书房APP  

获取二维码

分享文档

将文档分享至：
分享完整地址
文档地址： 复制
粘贴到BBS或博客
flash地址： 复制

支持嵌入FLASH地址的网站使用

html代码： 复制

默认尺寸450px*300px480px*400px650px*490px

支持嵌入HTML代码的网站使用

分
享
最
近
收
藏82
分享到
意见反馈
扫二维码
获取二维码用手机继续访问
微信推广

扫码关注微信公众号 享多重好礼

  • 豆丁网（微信号：doudingwang）
  • 豆丁网
  • 豆丁网官方订阅号
  • 豆丁建筑（微信号：doudingjz）
  • 豆丁建筑
  • 建筑圈学习交流平台
  • 豆丁文档（微信号：docin2013）
  • 豆丁文档
  • 豆丁网官方服务号
  • 不止于书（微信号：buzhiyushu）
  • 不止于书
  • 阅读遇见更好的自己
在线客服