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微加速度计制造分析

169阅读 4顶 1人收藏 8页爱你一辈子上传 举报/认领 合伙人(招募中) 展开

本文档由 爱你一辈子 分享于2009-04-26 16:15

沾黏(Stiction) 现像也是影响良率的重要因素之一,其现像的发 生是由於微结构与基底或其它微结构的距离相 距很近,此时表面张力,凡得瓦力,氢离子键接 合(Hydrogen Bonding)等力大於结构的弹力造 成结构产生永久...
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微加速度计制造分析 加速度 Pol CMOS Page 沈積一 Volume ntel Issue ANSYS
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加速度 分析 式微 liga 面型 藉由微
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