计画名称:化学分析电子能谱仪ESCA在材料上之应用

随著体积不断的缩小,材料表面效应随著表面积与体积的比例增加而渐趋重要,表面科学技术也因应成为制程或品管上重要的一门,透过表面分析我们可以了解有关元件或材料的物理,化学,机械,电子等方面性质,亦可分析与检测产品的失败原因,并提升制程...