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导科学发展月刊科学发展月刊

56阅读 12页星球小子上传 举报/认领 展开

本文档由 星球小子 分享于2009-06-28 13:06

微 影技术的延续出现光明的前景. 三,电子束微影系统简介 电子束微影...,达到基板上不同 位置的曝光,电射干涉仪系统使用氦氖雷射为光源 , 用於精密掌握工作平台位置及旋转角度,可控制传动...
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電子 基板 孔隙 偏折 月刊 托架 束系統 元件 雷射 奈米
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月刊 解析度 束微 光罩 光阻 感光性
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