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用等离子体增强化学气相沉积制备微晶硅薄膜

27阅读 3页hsw06上传 举报/认领 合伙人(招募中) 展开

本文档由 hsw06 分享于2011-09-20 10:20

这是介绍PECVD沉积微晶硅薄膜的好资料
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晶硅 薄膜 化学气相沉积 等离子体 制备 增强
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