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以高密度電漿化學氣相沉積系統成长与蚀刻氮化硅薄膜

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台湾逢甲大学硕士论文 PECVD 气相沉积 氮化硅
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氮化 成長與 rate flow 高密度 power sccm Bias 薄膜 PECVD
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薄膜 氮化硅 高密度 蚀刻 氮化 thesys
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