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IC制造工艺

1,239阅读 2顶 7人收藏 28页doscner上传 举报/认领 合伙人(招募中) 展开

本文档由 doscner 分享于2009-11-25 14:33

IC制造工艺 液相生长(LPE,Liquid Phase Epitaxy)将硅片放入已加热的饱和溶液中溶液降温,在硅片表面就可以沉积一层新的晶体LPE方法简单,廉价,但外延层的质量不高IC制造工艺 气相外延生长(VPE,Vapor Phase Epitaxy)VPE是在气体环境下在晶体......
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行业资料  —  轻工业/手工业
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光刻机 掩膜 硅片 工艺 外延 电子束 相移 反应器 单晶 Epitaxy
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工艺 制造 光刻机 单晶层 接近式 光刻胶
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