大气压氮气放电模拟PEGASUS应用
本文档由 Bill 分享于2012-03-15 16:07
放电模拟 磁控溅射/空心阴极/表面放电/介质阻挡放电 电子束与离子束的产生与输运 基于等离子体的离子注入 等离子体表面改性 微放电/微等离子体
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