半导体芯片制造芯片制作工艺流程(电子设计资料)
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Doc-9S1VV7;本文是“通信/电子”中“电子设计”的表格模板参考范文。正文共3,306字,word格式文档。内容摘要:表面清洗,初次氧化,法沉积一层Si3N4(Hot CVD或LPCV,常压CVD (Normal Pressure CVD,低压CVD (Low Pressure CVD,热CVD (Hot CVD)/(thermal CVD,电浆增强CVD (Plasma Enhanced CVD,分子磊晶成长(M
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