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Ching-YunUniversity

183阅读 90页好小子上传 举报/认领 合伙人(招募中) 展开

本文档由 好小子 分享于2008-12-14 18:55

插 於 接触 的应用 TiN TiSi2 2SiO 高温铝制程 SiO2 SiO2 所谓的高温铝,就是屏除 传统溅 在低温的环境下 进 的方式,而改采高温 的一种铝的溅镀技术¸ 在现在诸多的高温铝的制 程技术当中,以所谓的 "高温热 法"及"¸¸¸
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Ching-YunUniversity CVD 高週波 成長 多晶 分子束 原子 氮化 石墨 晶膜
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