半导体制造厂黄光区机台规划的模拟研究
本文档由 小密 分享于2008-12-22 10:37
厂中黄光区的机台设备昂贵,微 影机台又牵涉到关键层与非关键层的使用限制, 使得黄光区的机台规划在生产作业上显得更为重 要¸传统上都是以经验与直觉来安排机台,仍然 存在有很大的改善空间¸ 本研究利用eM-Plant模 拟软体来¸¸¸
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