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铜制程化学机械研磨废水化学性质与处理

194阅读 1人收藏 10页爱你一辈子上传 举报/认领 合伙人(招募中) 展开

本文档由 爱你一辈子 分享于2008-12-24 11:28

覆铜时,会产生铜电镀废水;此制程 是在晶圆表面涂布5微米厚的铜膜¸於是铜的产生源是浓度较稀的 清洗水,以及浓度很高的废镀液¸废水主要成份是硫酸与硫酸铜溶 液,若趋向碱性状况,则氢氧化铜则开始形成¸¸¸¸
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铜制程化学机械研磨废水化学性质与处理 化学性质 螯合 化合物 溶解度 ppm 铜制 废水 污染物 硫酸
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化学机械研磨 废水 研磨 溶解度 pourbaix 成份
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