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微扩散器泵的最佳设计

106阅读 6页小宝宝上传 举报/认领 合伙人(招募中) 展开

本文档由 小宝宝 分享于2009-01-01 22:36

泵效能评比图,如图9所示¸ 0¸20 0¸22 0¸22 0¸24 0¸24 0¸24 0¸24 0¸26 0¸26 0¸26 0¸26 0¸26 0¸26 0¸26 0¸260¸28 0¸28 0¸28 0¸28 0¸28 0¸28 0¸30 0¸30 0..
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微扩散器泵的最佳设计 半角 向性 振幅 扩散器 正弦 gre 元件 coati devel
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扩散器 流率 半角 光阻 drie 光罩
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