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微机电系统元件之微/

74阅读 2人收藏 11页天上星上传 举报/认领 合伙人(招募中) 展开

本文档由 天上星 分享于2009-01-04 16:28

齿 比,虽可藉由适当之 设计(如渐开线,摆线,圆弧线等齿形)及制造方法(微放电¸¸¸动性之相对运动,磨润问题仍然存在,即使在设计上暂时避开外摩擦/黏 附,内摩擦问题仍必须加以掌握,以控制 如微致动¸¸¸
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微机电系统元件之微 Vol friction 元件 Bhushan 磨耗 tribology Micro silicon MEMS
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元件 电系统 磨耗 微机 微型 摩擦
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