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半导体制程技术导论概要

326阅读 5人收藏 15页飞猪流上传 举报/认领 合伙人(招募中) 展开

本文档由 飞猪流 分享于2009-01-07 03:26

轻,则离子的射程就愈远o ●布植会造成晶体结构受损¸需要布植后的加热退火制程来恢复单晶结构及活化掺杂物¸ ●离子布植制程会使用很多种危险性的¸¸¸
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半导体制程技术导论概要 晶片 CVD 多晶 移除 薄膜 氮化 半导体 制程 导论
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半导体制程 晶片 概要 接晶片 导论 光阻
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