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CN200410043527.9-用以形成薄膜的可在基片和防镀片之间改变距离的喷镀设备

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本文档由 Hitter 分享于2013-03-09 14:56

本专利介绍用以形成薄膜的可在基片和防镀片之间改变距离的喷镀设备。
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行业资料  —  金属学与金属工艺
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薄膜 喷镀 设备
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