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朱瑾教授-先进属与陶瓷薄膜制程研究室-先进米与薄膜材

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本文档由 想你 分享于2010-06-28 05:37

(c)属玻璃薄膜研究在本研究中我们以溅镀法镀上二百米的单层膜,藉由退火...(b)Cu(RuNx)/Si系统退火期间介於铜合薄膜与无阻障层矽基板间并无形成反应...
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薄膜 研究室 朱瑾 runx 基板 陶瓷
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