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微光学元件与系统

330阅读 1顶 3人收藏 9页望岗岭197上传 举报/认领 合伙人(招募中) 展开

本文档由 望岗岭197 分享于2009-02-20 17:34

Splitter)、以及微面镜(Micro Mirror) 等微光学元件，利用微机电系统技术一体定位成型， 正如同将传统光学桌上的系统微缩至矽晶圆上般所带来的震撼，
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与系统 微光 Optical Micro 元件 基板 氮化 Vol Biochips Elements
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微光 光学元件 基板 元件 光路 micro
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