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行政院国家科学委员会补助专题研究计画成果报告

24阅读 5页luomawang上传 举报/认领 合伙人(招募中) 展开

本文档由 luomawang 分享于2010-10-28 08:22

部分的晶粒则当作成核点使得晶粒尺寸细化.图3为复晶矽分别在退火前及经能量密度186mJ/cm2的退火的AFM 3D图,退火前的复晶矽薄膜表面呈现均匀的颗粒状分布这颗粒...
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成核点
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雷射 退火 行政院 薄膜 uhvcvd 非晶
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