物理新知
本文档由 办公助手文档 分享于2010-11-07 10:43
有鉴於此,Ali Javey等人,尝试使用ZrO2(介电常数高达20~30)代替SiO2作为绝缘体.他们更使用原子层沉积技术(ALD, atomic-layer deposition),可以准确地控制ZrO2的...文档、论文、资料！免费阅读！免费分享！如需请下载！
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