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基于rf-mems开关的可重构微带贴片天线分析.pdf
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集成RF天线设计论文.pdf
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基于mems的卫星天线伺服控制系统研究.pdf
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RF MEMS开关的设计与制作.pdf
- 随着MEMS技术在20世纪晚期的进步，已使得设计和制造RFMEMS开关
成为可能。与半导体开关相比，MEMS开关的损耗低、隔离度高和功率处理能
力强。随着独立衬底的MEMS开关研究的深入，已在性能和价格两个方面取得
惊人的进步，MEMS的微波器件及系统已经出现在市场上。
本论文提出了基于单晶硅梁的扭转摆结构RFMEMS开关。开关的梁采用无
应力的单晶硅制作，可以解决开关中由于残余应力造成的变形问题;开关的机械
部分是一种翘板结构(即扭转摆)，可以解决传统开关的回复力不足引起的触点
粘连的问题。论文的主要工作有:
1.论文首先分析了现有的开关的优点和缺点，在国内首先提出了基于单晶
硅的扭转摆结构的开关，对于单晶硅的扭摆结构作了模态的分析，并且对其静力学和动力学特性作了相应的理论建模，为开关的设计提供了理论依据。
2.论文提出了设计基于单晶硅扭转摆结构的两种不同驱动方式的开关:静
电驱动开关和电磁驱动开关。对于静电驱动开关采用扭转摆结构可以降低其驱动电压，设计的开关驱动电压小于SV，克服传统开关回复力不足而造成的触点粘结问题。电磁驱动开关采用双线圈的推拉式驱动，可以降低驱动电流降低功耗，同时保证比较大的驱动力(大于25刚)。论文同时对于开关的结构设计和优化作了详细的讨论，并对于其电学特性作了分析，设计优化了共面波导传输线，利用AnsoftHFSS仿真开关的微波特性，静电驱动开关在40GHz时，隔离度优于一2OdB，
电磁驱动开关在40GHz时，隔离度优于一4OdB。
3.论文设计了开关的制造工艺流程并进行流片。设计了静电驱动开关的整
体工艺流程和具体的版图，并设计了电磁驱动开关的电磁驱动部分的整体工艺和版图。研究讨论了开关制造中的ICP刻蚀、牺牲层、互联线和体硅腐蚀等关键工艺，并制造了一台可以用于牺牲层释放的二氧化碳超临界干燥释放设备。
4.对于开关测试流片结果和出现的问题进行了分析讨论，静电驱动开关在
20GHz时，隔离度为一45dB;并对于超临界释放干燥设备中密封的问题和释放结
果作了分析和讨论。
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High-Performance RF-MEMS Tunable Filters - University of …高性能的RF-MEMS调谐滤波器-大学….pdf
- High-PerformanceRF-MEMS Tunable FiltersbySang-June ParkA dissertation submitted partialfulfillmentof
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射频微机电RF MEMS滤波器的关键技术研究.pdf
- 密级中国科学院大学 Ｕｎｉｖｅｒｓｉｔｙ ＣｈｉｎｅｓｅＡｃａｄｅｍｙ Ｓｃｉｅｎｃｅｓ博士学位论文 作者姓名： ＫｅｙＴｅｃｈｎｏｌｏｇｉｅｓ ＲＦＭＥＭＳ Ｆｉｌｔｅｒ Ｂｙ Ｇｕｏｗｅｉ Ｈａｎ
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AuSi共晶键合技术及翘板式RF+MEMS开关的研究.pdf
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mems开关可重构天线的研究与设计(理科).pdf
- mems开关可重构天线的研究与设计(理科),可重构天线,mems光开关,mems开?
40dc
?,rf mems 开关,mems射频开关,mems rf 开关原理,天线开关,天线开关回收,手机天线开关
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RF+MEMS器件及其集成技术研究.pdf
- RF+MEMS器件及其集成技术研究RF+MEMS器件及其集成技术研究RF+MEMS器件及其集成技术研究
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向豆丁求助：有没有rf mems 天线?
