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任高潮何乐年(浙江大学 信息与电子工程学系薄膜研究室 310027) 摘要氢化硅(siox)膜具有透明性,并且对氧气和水蒸汽有高阻隔作用,在高温高 湿度的环境下能保持化学稳定性。因此,镀氧化硅膜被认为
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向豆丁求助:有没有氧化硅膜?