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High-Q MEMS Capacitive-Gap Resonators for RF Channel Selection(用于射频通道选择的高Q
MEMS电容隙谐振器
)
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式双端固支梁碳化硅
MEMS谐振器
的研制
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硕士学位论文二零一二年六月 一苓一一,平/、月carbide MEMS resonator zhongbokang ADissertation Submitted GraduateUniversity
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MEMS
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式双端固支梁碳化硅
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