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太阳能光伏电池
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太阳能光伏电池
huhu592473995
创建于2011-07-29
最后编辑: 2011-07-29 08:26
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太阳能光伏发电相关资料
共 5 个文档
4p
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PECVD生长氮化硅介质膜的工艺研究
PECVD生长氮化硅介质膜的工艺研究 对PECVD 生长氮化硅介质膜的工艺条件进行了实验研究,获得了生长氮化硅介质膜的最佳工艺条件,制作出了高质量的氮化硅介质膜。对样..
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低应力PECVD氮化硅薄膜工艺探讨
低应力PECVD氮化硅薄膜工艺探讨
介绍了一种掺氦的等离子增强化学气相淀积(PECVD) 氮化硅薄膜工艺技术, 可调控氮化硅薄膜的应力, 从而在较低的射频功率下生长低应..
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wang5945
2009-12-22
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管式PECVD操作指导书
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德信诚培训
2011-01-12
格式: DOC
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4p
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太阳能电池作为新一代的绿色安全、无污染、长寿命的能源,已经广泛在欧洲等发达国家的军民行业中应用并在我国迅速推广。论述了由中国电子科技集团公司第四十八研究所研制..
作者:
wang5945
2009-12-24
格式: PDF
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24p
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太阳能电池PECVD培训教材 ,包括PECVD原理,PECVD设备简介。
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Maggie163
2010-05-05
格式: PPT
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