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矗多靶直流磁控共溅射系统的研

51阅读 1人收藏 3页大头娃娃上传 举报/认领 合伙人(招募中) 展开

本文档由 大头娃娃 分享于2010-12-21 17:27

空问角分布于真空罩上,聚焦于基板中心,的有效直径为~0mm,平面的法线与基扳的并靶5靶特面盒胎铺毗关词兰墼壁塑苎键量墅塑...
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磁控 溅射 直流 键量 基板 系统
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