化学机械研磨中划伤的制程失效模式分析的改进

划伤是二氧化硅化学机械研磨中的一种主要的缺陷，比较严重的划伤会形成钨残留，从而导致金属间短路以至降低良率。至今为止，没有一种有效的方法能够完全消除划伤。根据制程失效模式分析的原理，从严重性，检测及发生率三个方面对划伤的问题做了改进：通过增加后道钨研磨的时间减少严重性，制定新的检验方法提高检测以及研究一种方法减少发生几率。通过三个方面的努力，二氧化硅化学机械研磨中的划伤问题得到了很大的改进。