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离子注入对大直径SI-GaAs晶体缺陷及电学性能的影响

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本文档由 书香小屋 分享于2011-01-10 14:46

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gaas 晶体缺陷 缺陷对 si 离子注入 电学性能 gaas晶体
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gaas 离子注入 大直径 电学 晶体缺陷 性能
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