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多元复合纳米膜镀膜工艺及弧靶自动控制系统的研究

180阅读 2人收藏 85页highseak上传 举报/认领 合伙人(招募中) 展开

本文档由 highseak 分享于2011-03-19 11:39

采用超高离子镀制备的TiN多元纳米复合多层膜，呈均匀层装分布，厚度可精确控制。
文档格式：
.pdf
文档大小：
2.95M
文档页数：
85页
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2
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文档分类：
行业资料  —  化学工业
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文档标签：
多弧离子镀 纳米复合膜 单片机 自动控制 超高硬度
系统标签：
镀膜 多层膜 复合纳米 纳米复合 硬度 不锈钢
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