MESIN纳米晶复合膜的制备及其超硬机理研究

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MESIN纳米晶复合膜的制备及其超硬机理研究
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及其 的超硬 制备 复合 TiN films coatings Technol hardness NbN
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复合膜 纳米晶 mesin 机理研究 制备 nanocomposite
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