频道

  • 扫一扫安装书房APP

  • 扫一扫关注微信号

作者姓名:董良

70阅读 1人收藏 4页挣钱上传 举报/认领 展开

本文档由 挣钱 分享于2009-06-01 15:02

率的硅衬底上选择性地生长了多孔硅作为牺牲层,双层Si3N4薄膜的抗酸腐蚀...成品率约为80%,表明了我们开发的该MEMS-IC集成工艺较为成功. 系统地测试了单元器件的电压灵敏度,热响应时间常数,噪声...
文档格式：
.doc
文档大小：
40.5K
文档页数：
4页
顶 /踩数：
0 /  0
收藏人数：
1
评论次数：
0
文档热度：
文档分类：
待分类
添加到豆单
文档标签：
董良 TFT polySiGe 探测器 silicon 多孔 电阻率 thermal infrared films
系统标签：
polysige 董良 多孔硅 红外探测器 tft 辐射热
下载文档
收藏
打印
转格式
转本文档 转其他文档

君，已阅读到文档的结尾了呢~~

立即下载 加入会员，超低价下载
下载文档 加入会员 超低价下载
菜单
全屏
上一页 /3下一页

扫扫二维码，随身浏览文档

手机或平板扫扫即可继续访问

推荐豆丁书房APP  

获取二维码

分享文档

将文档分享至：
分享完整地址
文档地址： 复制
粘贴到BBS或博客
flash地址： 复制

支持嵌入FLASH地址的网站使用

html代码： 复制

默认尺寸450px*300px480px*400px650px*490px

支持嵌入HTML代码的网站使用

分
享
最
近
收
藏82
分享到