0.13um铜互连工艺的研究和改善

本文针对先进铜互连技术中存在的一些问题，具体研究了铜化学机械研磨工艺的特性，提出了几种工艺优化方法，使得产品通过了最终的可靠性验证。全文得到的结论如下：1)碟形凹陷(dishing)是铜制程化学机械研磨工艺中不可避免的缺陷；但通过对化学机械研磨工艺的多次试验及调试；dishing缺陷的程度是可以被改善的；研究表明，光靠对机械参数的调试，dishing缺陷改善的程度是十分有限的。考虑到工艺中不仅存在着物理的研磨..