超大规模集成电路铜互连电镀工艺
本文档由 ekvcn 分享于2009-11-26 09:35
摘要:介绍了集成电路铜互连双嵌入式工艺和电镀铜的原理;有机添加剂在电镀铜中的重要作用及对添加剂含量的监测技术;脉冲电镀和化学电镀在铜互连技术中的应用;以及铜互连电镀工艺的发展动态. 关键词:集成电路,铜互连,电镀,阻挡层 1. 双......
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