ZnO透明薄膜的制备及特性研究

近年来，氧化锌(ZnO)成为继氮化镓(GaN)之后光电领域内的又～个热门研究课题。ZnO是一种宽禁带(室温下禁带宽度为3．37 eV)半导体材料，具有良好的透明导电性、压电性、光电性等特性。由于这些优异的性质，使ZnO具有广泛的用途，如制备表面声波器件、紫外光探测器、压电器件、紫外发光器件、气敏传感器等。除此之外ZnO材料的另一个重要的应用就是制备透明导电薄膜。人们主要是利用磁控溅射和金属有机..