第七章蚀刻技术
本文档由 爱你一辈子 分享于2008-12-29 22:11
汲极矽将会被快速的蚀刻掉¸ 由於采用CF4, SF6等氟原子为主的电浆气体时,其选择比不 足,将对元件造成伤害,因此不适用於闸极复晶矽的蚀刻¸再 者,这些电浆气体在蚀刻复晶矽时较具等¸¸¸
下载文档
收藏
打印
分享:
君,已阅读到文档的结尾了呢~~