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有机玻璃表面沉积氧化硅层的摩擦磨损性研究

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本文档由 想你 分享于2010-08-18 14:25

摘要采用射频等离子体化学气相沉积的方法在有机玻璃表面沉积一层氧化硅薄膜,...样品2是经等离子体化学气相沉积氧化硅耐磨层的有机玻璃.图4给出了样品...
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磨损性 有机玻璃 表面沉积 硅层 氧化 摩擦
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