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（材料学专业论文）溅射铜和铜合金薄膜的微观结构与性能——铜互连技术的基础研究

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本文档由 材料学论文 分享于2013-12-27 19:23

（材料学专业论文）溅射铜和铜合金薄膜的微观结构与性能——铜互连技术的基础研究专业,和,溅射,材料学,薄膜微观,结构及性能,溅射铜,溅射技术,微观结构,铜合金
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论文  —  毕业论文
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专业 和 溅射 材料学 薄膜微观 结构及性能 溅射铜 溅射技术 微观结构 铜合金
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薄膜 溅射 合金 微观 互连 硅基底
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