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国科会高屏地区奈米核心设施共同实验室

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本文档由 ebookking 分享于2010-09-08 20:59

制程腔真空及阀门控制输送腔真空及阀门控制Process Chamber : 反应腔真空阀门控制...反应腔真空值Hi-Vac:高真空计,显示反应腔内真空 度,低於10-5torr会自动开....
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行业资料  —  轻工业/手工业
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高真空计
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高屏 靶材 wafer 反应腔 国科 雷射
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