4x7cc超高真空电子束蒸发源1套，含8kW数字化电源、坩埚驱动器和冷却罩。 注：以上源炉全部集成挡板，原位水冷功能。 （5）样品操纵台：衬底的尺寸为2英寸，面内旋转，转速0-
本文档由 woainidocd 分享于2014-05-12 11:14
4x7cc超高真空电子束蒸发源1套，含8kW数字化电源、坩埚驱动器和冷却罩。 注：以上源炉全部集成挡板，原位水冷功能。 （5）样品操纵台：衬底的尺寸为2英寸，面内旋转，转速0-
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