超精密奈米加工技术之进展
本文档由 骏捷FRV 分享于2009-02-19 09:35
摆度<0¸1mm 超精密导轨系统 运动偏差<0¸1 mm 大行程与高解析度的进给系统 解析度150mm ¸¸¸刀具直径必须再缩小¸综和而言,刀具材料与微细刀具制作问题将是超精密加工未来的一个重要研究课题¸ 伍,结语 超精密加工¸¸¸
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