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Cu互连工艺中Ta基扩散阻挡层的二次离子质谱剖析

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本文档由 纺织服装文库 分享于2014-07-04 21:24

Cu互连工艺中Ta基扩散阻挡层的二次离子质谱剖析
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质谱 扩散 cu 扩散阻挡层 Cu的 质谱仪 质谱法 质谱分析 质谱分析法 串联质谱
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扩散阻挡层 互连 剖析 离子 工艺 zvr
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