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洁净室AMC浅谈

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本文档由 卿本佳人 分享于2010-10-18 10:40

洁净室AMC浅谈洁净室AMC浅谈［科技创新论坛］朱　　琪　　约2334字　　摘要: AMC是危害生产工艺并导致成品率降低的分子态化学物质,从AMC定义、分类、来源和去除方法进行探讨和分析。　　关键词: 半导体;AMC;污染物;化学过滤器　　...
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洁净室 amc 洁净
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amc 过滤器 污染物 高风速 成品率 半导体
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