基于随机偏微分方程的成膜表面形貌模拟

基于随机偏微分方程的成膜表面形貌模拟基于随机偏微分方程的成膜表面形貌模拟［自然科学］曾祥福 赵 嘉 孙国永 杨丹慧　　约1752字　　[摘要]采用随机偏微分方程模型，对薄膜生长的表面形貌进行计算机模拟，得到薄膜生长的三维形貌图。根据仿真结果，对影响成膜形貌的基底温度和...