Ast-PECVD機台操作手冊. - 國立清華大學奈微與材料科技中心國立清華
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操作手冊. Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition. 機台管理者:郭文鳳 ... 機台在300w 功率之下操作,不宜時間過長(勿開10min 以上)以免 ...
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