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半导体制程设备中晶圆传送盒之锁合机构概念设计(II)

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本文档由 runqin 分享于2009-03-08 05:41

latch and press-and-deform motions It can be seen that the profile of output slot-cam effectively guides the tip B to move transversely and then vertically¸ The decoupled latch and press-and-deform motions are&n..
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行业资料  —  轻工业/手工业
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output link motion Latch Mechanism Design Figure container elastic input
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传送盒 合机构 半导体制程 晶圆 latch container
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