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离子注入对大直径SI-GaAs晶体缺陷及电学性能的影响

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性能 影响 缺陷 对大直径 缺陷及 性能的影响 晶体缺陷 离子晶体 缺陷的 离子注入
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gaas 离子注入 大直径 电学 晶体缺陷 性能
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