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微电子工艺基础-外延工艺

305阅读 2顶 6人收藏 62页lkfine上传 举报/认领 合伙人(招募中) 展开

本文档由 lkfine 分享于2010-11-29 17:11

1、了解相图和固溶度的概念2、了解外延技术的特点和应用3、掌握外延的分类4、掌握气相外延的原理、步骤5、了解分子束外延的实现方式和优点
文档格式：
.ppt
文档大小：
3.98M
文档页数：
62页
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6
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行业资料  —  轻工业/手工业
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系统标签：
外延 微电子 工艺 固溶 反应剂 基础
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