MOCVD设备气体输运关键技术的研究

MOCVD(Metal Organic Chemical Vapor Deposition)是生长高质量半导体薄膜材料的技术，在LED、半导体激光器、太阳能电池等多个领域都有应用。现有MOCVD 设备的成本非常高，且完全依赖进口，进行MOCVD 设备研究对国内半导体产业、新能源领域以及国防高端技术的发展都很有必要。MOCVD 设备可以分为核心的腔体反应室、加热器、冷却系统、气体输运系统以及整体控制系统。本文重点研究了气体输运系统的设计，包括..