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CVD工艺介绍

3,783阅读 2顶 24人收藏 23页艾子上传 举报/认领 展开

本文档由 艾子 分享于2010-12-15 10:46

CVD化学气相沉积工艺的介绍，用于晶圆制造的线上工艺。
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.ppt
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1.21M
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23页
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行业资料  —  轻工业/手工业
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文档标签：
CVD 晶圆制造 化学 气相沉积
系统标签：
cvd 工艺 淀积 淀积膜 化学气相沉积 化学气
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