小型真空蒸镀系统操作说明

本文档由 彩虹飘 分享于2010-12-24 18:06

此MAIN.V为齿轮带动,旋转到有紧度时,即停止转动,切勿转太紧,容易让齿轮移位,造成D.P跟蒸镀腔体间的泄漏.(最好先确定此阀旋转到到什麼位置能让M.V密...
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真空 roung 低真空 小型 高真空 vpc
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